◆主要技术指标◆

主机结构：简单工作台，多段加热体组合形成阶梯温区；

工作温度：200℃~1100℃，多段阶梯温度；

升温速度：20℃/min；

温区控制：多段独立控制；

单点控温精度：~1100℃±1℃/24H；

控制系统：手动/自动；

设备使用气体：H2，Cl2，N2等；

设备参数可根据客户要求定制。

更详细的数据欢迎来电垂询。