◆主要技术指标◆
主机结构:双层结构,分别放置加热体及气路系统,两端为独立的尾气柜;
石英管尺寸:Φ120mm/Φ150mm/Φ180mm;
工作温度:~1100℃;
升温速度:~25度/分;
控温精度:1100℃±1℃/24H;
控制系统:半自动/全自动,由PLC、上位机、质量流量控制器(MFC)及控制仪表组成;
设备使用气体:H2、N2等;
设备参数可根据客户要求定制。
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