◆主要技术指标◆
高温恒温区：150mm~350mm；
温度均匀性：1100℃±1℃；
压力范围：5.0×10-3Pa~常压
工艺石英管规格：Φ80mm~Φ260mm；
石英管内可通H2、Ar等气体
温度、恒温区、工艺管规格等均可根据客户要求定做。